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张金利
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1
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘刚
中国科学院半导体研究所
段满龙
中国科学院半导体研究所
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中国科学院半导体研究所
孙文荣
中国科学院半导体研究所
王应利
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2008
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化学配比对InP和InAs单晶完整性及衬底表面制备的影响
通过对熔体化学配比、热场和生长条件进行优化控制,有效地避免了晶体中产生团状、线状等高密度位错聚集结构,利用液封直拉法获得了多种电学掺杂的高质量InP和InAs单晶材料。InP单晶的直径为2-4英寸、InAs单晶直径为2-...
赵有文
孙文荣
段满龙
董志远
胡炜杰
杨俊
张金利
王应利
刘刚
关键词:
单晶材料
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磷化铟
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