王虎
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 等离子体烧蚀引起光束调制的功率谱密度计算被引量：1
- 2015年
- 采用电子束蒸发制备了1064 nm高反膜样品,并通过激光预处理系统对样品表面的部分区域进行了光栅式扫描,形成等离子体烧蚀区域。搭建了光束质量测试系统,记录在样品表面有无等离子体烧蚀两种情况下的反射光束的空间强度分布。采用经典周期图法,分别计算了各自的强度分布的功率谱密度。结果表明,等离子体烧蚀导致的传输光束峰值强度对应于功率谱密度曲线中心峰值强度,而周期性起伏则体现在相应频率下的峰值。因此功率谱密度曲线可以作为表征光学元件对传输光束调制的手段。
- 郭猛李大伟吴建波王虎何骏王岳亮柴英杰符燕燕
- 关键词：表面光学激光预处理功率谱密度
- 沉积速率对直流脉冲溅射钼薄膜微结构与光学性能的影响被引量：4
- 2016年
- 用脉冲直流磁控溅射方法在硅片衬底上制备了厚度相同的单层钼薄膜,结合台阶仪、X射线衍射仪、场发射扫描电镜、原子力学显微镜和紫外-可见分光光度计分别研究了不同沉积速率对钼薄膜微结构、表面形貌和光学性能的影响。掠入射X射线反射谱拟合的钼薄膜厚度与设计厚度一致,说明当前钼薄膜制备工艺成熟稳定。沉积速率通过改变薄膜生长模式与薄膜形核率影响钼薄膜表面形貌演化。随着沉积速率的增大,薄膜越来越致密,钼(110)面的衍射峰强度逐渐增大,平均晶粒尺寸增大,表面粗糙度先降低后增加。
- 赵娇玲贺洪波王虎郭佳露贺婷
- 关键词：光学性能
