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罗小光

作品数：5 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电荷
  • 2篇压缩机
  • 2篇石英
  • 2篇微孔
  • 2篇磨料
  • 2篇晶圆
  • 2篇空气压缩机
  • 1篇氧化碳
  • 1篇药剂
  • 1篇射频
  • 1篇射频MEMS...
  • 1篇射频开关
  • 1篇水清洗
  • 1篇助溶剂
  • 1篇微机电系统
  • 1篇晶片
  • 1篇静电驱动
  • 1篇开关
  • 1篇化学药剂
  • 1篇机电系统

机构

  • 5篇中国科学院微...
  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 5篇罗小光
  • 4篇景玉鹏
  • 4篇高超群
  • 4篇刘茂哲
  • 4篇李全宝
  • 2篇焦斌斌
  • 1篇史海涛
  • 1篇叶甜春
  • 1篇伍小平
  • 1篇张青川
  • 1篇李超波
  • 1篇欧毅
  • 1篇陈大鹏
  • 1篇由春娟

传媒

  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状
2007年
非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注。一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来。介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景。
史海涛欧毅陈大鹏张青川伍小平焦斌斌李超波罗小光由春娟
关键词：非制冷红外成像MEMS光学读出
绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备
本发明公开了一种绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备，用于半导体晶片的无水清洗。该设备主要包括带温度和压力控制的主工作腔(进行超流体清洗和超临界干燥)、分离二氧化碳和清洗废液的分离腔、存放增强清洗效果的清洗剂及助溶剂的暂存腔...
高超群刘茂哲罗小光李全宝景玉鹏
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翘板式射频MEMS开关的研究被引量：1
2008年
提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关，给出了理论模拟，结构分析结果和工艺制作方法。该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分，可以缓解薄膜应力变形。翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题，并且通过调整支点解决了开关回复力不可调的难题。利用该结构可以在保持高隔离度的同时使驱动电压降低，有限元理论模拟驱动电压为5～10V；采用翘板式结构增加了开关的使用周期，而且结构自身具有单刀双掷特点，可以直接应用于高频通信的频道选择。给出了开关共面波导传输线的测试结果和设计讨论。
刘茂哲李全宝焦斌斌高超群罗小光景玉鹏叶甜春
关键词：射频开关静电驱动
石英晶圆深微孔加工设备及方法
本发明公开了一种石英晶圆深微孔加工设备，该设备包括空气压缩机、喷砂枪和载玻台，所述压缩机连接着喷砂枪，压缩机向喷砂枪输送高压缩空气，致使喷砂枪内的磨料高速喷击到置于载玻台的石英晶圆上，利用高速运动的磨料撞击石英材料实现在...
罗小光刘茂哲李全宝高超群景玉鹏
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石英晶圆深微孔加工设备及方法
本发明公开了一种石英晶圆深微孔加工设备，该设备包括空气压缩机、喷砂枪和载玻台，所述压缩机连接着喷砂枪，压缩机向喷砂枪输送高压缩空气，致使喷砂枪内的磨料高速喷击到置于载玻台的石英晶圆上，利用高速运动的磨料撞击石英材料实现在...
罗小光刘茂哲李全宝高超群景玉鹏
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