赵靖
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：福州大学物理与信息工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划福建省科技厅资助项目更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 高性能导电薄膜的制备
- 2007年
- 采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了Cr-Cu-Al-Cr薄膜,用焊接法测试薄膜附着性能,用X射线衍射仪、原子力显微镜和台阶仪对薄膜进行表征,研究溅射过程中以及在高温大气环境下薄膜的防氧化方法,分析薄膜晶粒大小与电性能关系,制备出性能较好的导电膜。
- 张树人陈国良赵靖郭太良
- 关键词：附着性晶粒电学性能
- 氧离子束流密度对Ta_2O_5薄膜的影响被引量：2
- 2009年
- 利用氧离子辅助电子束蒸发沉积Ta2O5薄膜,在固定氧离子能量的条件下研究了氧离子束流密度对Ta2O5薄膜的微观结构、化学计量比和漏电流密度的影响。利用原子力显微镜和X射线衍射仪对Ta2O5薄膜微观结构进行表征研究,发现随着离子束流密度增大,沉积的Ta2O5薄膜致密性提高,粗糙度下降,但薄膜一直保持非晶态;同时能谱仪测试的结果表明,薄膜中O/Ta比例逐渐提高,直至呈现富氧状态。测量了不同薄膜样品的漏电流密度和击穿场强,发现随着离子束流密度增大,薄膜漏电流密度显著降低,击穿场强提高。总之,提高氧离子束流密度能够明显改善Ta2O5薄膜的微观结构和电学性能。
- 赵靖张永爱袁军林郭太良
- 关键词：TA2O5化学计量比
