张晴
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
- 基于DVD光学读取头的测微力计被引量：1
- 2012年
- 为满足微纳米三维接触扫描探头测力的需要,提出了一种基于DVD光学读取头的测微力计。该测微力计由固定及微调支座、L形铜条、平面反射镜、DVD光学读取头和阻尼装置五部分组成。当力作用在L形铜条上时,贴在铜条上的平面反射镜会产生微小位移,该微小位移由DVD光学读取头来感测;通过建立被测力与平面反射镜微位移之间的关系,从而实现微小力的测量。用该测微力计对一个微纳米三维接触扫描探头的测力过程进行了测量,测量结果与对该微纳米三维接触扫描探头的有限元分析结果一致。
- 陶胜张珂张晴
- 复合控制模式的长行程纳米定位控制系统被引量：1
- 2013年
- 提出一种基于BPNN-PID(Back Propagation Neural Network PID)的纳米定位控制系统。该系统包括驱动平台的超音波马达HR4及其驱动器AB2,共平面二维平台,及作为各轴位移反馈的多自由度传感器MDFS(Multi Degrees of Freedom Sensor)。超音波马达HR4及其驱动器AB2提供三种驱动模式(AC,Gate和DC模式)来适应不同的行程、速度和分辨力要求;AC模式下使用BPNN-PID控制速度,Gate模式下使用简单的比例PID控制步距,DC模式下重新使用BPNN-PID来锁定平台位置以达到准确定位。以SIOS SP-2000激光干涉仪作为位移基准搭建实验系统进行精度校正。实验表明:该系统在全程20 mm的行程内,定位误差在10 nm以内,标准差小于5 nm。
- 张晴王呐周浩
- 关键词：定位控制
