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张珂
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
合肥工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
陶胜
合肥工业大学
张晴
合肥工业大学
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计测技术
年份
1篇
2012
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基于DVD光学读取头的测微力计
被引量:1
2012年
为满足微纳米三维接触扫描探头测力的需要,提出了一种基于DVD光学读取头的测微力计。该测微力计由固定及微调支座、L形铜条、平面反射镜、DVD光学读取头和阻尼装置五部分组成。当力作用在L形铜条上时,贴在铜条上的平面反射镜会产生微小位移,该微小位移由DVD光学读取头来感测;通过建立被测力与平面反射镜微位移之间的关系,从而实现微小力的测量。用该测微力计对一个微纳米三维接触扫描探头的测力过程进行了测量,测量结果与对该微纳米三维接触扫描探头的有限元分析结果一致。
陶胜
张珂
张晴
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