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袁锋

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇热电堆
  • 1篇兼容性
  • 1篇红外
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇中北大学
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 1篇夏燕
  • 1篇赵利俊
  • 1篇薛晨阳
  • 1篇欧文
  • 1篇袁锋

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于黑硅为吸收层的热电堆红外探测器被引量：4
2012年
基于黑硅对部分波长红外光的高吸收效率,结合红外探测器对吸收层材料的要求,针对以黑硅为红外吸收层的设计与测试进行了研究;设计采用工艺中刻蚀出现的"黑色"物质为吸收层材料,研究对不同波长红外光的吸收效率。根据红外基本理论,结合MEMS工艺可行性和兼容性设计一种微机械热电堆红外探测器,热偶对的排布位置进行上下设计;突破原有的硅衬底的释放困难和SOI衬底的成本过高的问题,提出一种氧化层上的多晶硅作衬底,最后器件以正面干法释放器件的方法,在提高探测器性能的同时节约成本。
夏燕薛晨阳欧文袁锋赵利俊
关键词：兼容性热电堆红外MEMS
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