夏燕
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于黑硅为吸收层的热电堆红外探测器被引量：4
- 2012年
- 基于黑硅对部分波长红外光的高吸收效率,结合红外探测器对吸收层材料的要求,针对以黑硅为红外吸收层的设计与测试进行了研究;设计采用工艺中刻蚀出现的"黑色"物质为吸收层材料,研究对不同波长红外光的吸收效率。根据红外基本理论,结合MEMS工艺可行性和兼容性设计一种微机械热电堆红外探测器,热偶对的排布位置进行上下设计;突破原有的硅衬底的释放困难和SOI衬底的成本过高的问题,提出一种氧化层上的多晶硅作衬底,最后器件以正面干法释放器件的方法,在提高探测器性能的同时节约成本。
- 夏燕薛晨阳欧文袁锋赵利俊
- 关键词：兼容性热电堆红外MEMS
- 一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器被引量：3
- 2012年
- 报道了一种与CMOS工艺兼容的微机械热电堆红外探测器。提出了具有一对热电偶的两层悬浮结构,其占空因子达到80%以上,并采用P/N多晶硅作为热电偶材料,黑硅作为吸收层材料。给出了器件的工作原理,对性能优化与制作的工艺流程进行了分析,结合所选材料的基本参数,得到了优化后的结构尺寸。通过理论计算,可以获得响应率大于1000 V/W,探测率大于1×108cmHz1/2W-1,时间常数小于40ms,噪声等效温差小于30mK的性能优良的热电堆红外探测器。该器件的吸收层位于结构中的顶层,金属布线位于底层,便于与后续电路集成。单元大小为25 m×25 m,有利于制作非制冷红外焦平面阵列。
- 赵利俊欧文闫建华明安杰袁烽夏燕
- 关键词：热电堆红外MEMS
- 一种黑硅吸收层的热电堆红外探测器设计(英文)被引量：1
- 2012年
- 设计一种以黑硅这种对几乎所以可见光和部分红外光具有很高吸收率的新型材料作为表面吸收层的热电堆红外探测器,针对这一设计作出了大量关于黑硅对不同波长下的红外吸收率的研究。通过红外基本理论,结合MEMS工艺的兼容性,设计采用两种热电偶材料叠放的方式,并以氧化硅薄膜作为隔离的结构;另外,探测器采用氧化硅上制作的多晶硅作为新型衬底。在器件释放中被XeF2正面腐蚀的部分是多晶硅,这样的设计解决了硅释放的对准问题和SOI衬底陈本高的问题。这种材料可以提高探测器的性能同时减小成本。
- 夏燕薛晨阳欧文袁峰赵利俊
- 关键词：兼容性热电堆红外MEMS
- MEMS热电堆红外探测器的结构设计及制造研究
- 在现代社会中，无论是军用还是民用领域，红外探测器都有越来越重要的地位。热电堆红外探测器作为非制冷型红外探测器的一种，自20世纪80年代MEMS（微机械系统）工艺技术的引进，陆续出现了IC兼容的微机械硅基红外探测器类型，相...
- 夏燕
- 关键词：微机械系统
