袁烽
- 作品数：2 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 一种硅基MEMS微波SIR交指带通滤波器被引量：5
- 2017年
- 基于7阶SIR交指结构滤波器,提出了一种基于硅MEMS技术的微波S波段交指带通滤波器。不仅保留了交指结构的高通带选择性,而且可以通过调整SIR的阻抗比和电长度比来实现宽阻带。采用MEMS工艺,在双层高电阻率的硅片上完成了滤波器的制作和自封装,它具有体积小、损耗低的优点。仿真结果表明,该滤波器在中心频率2.35GHz处的相对带宽为30%,带内插损小于1.5dB,回波损耗大于15dB,在频率f_0±0.8GHz处的阻带抑制比大于50dB。该交指带通滤波器的体积仅为(11×7×0.8)mm^3。
- 翟琼华欧毅薛晨阳袁烽李志刚欧文
- 关键词：带通滤波器交指滤波器阶跃阻抗谐振器微机电系统
- 一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器被引量：3
- 2012年
- 报道了一种与CMOS工艺兼容的微机械热电堆红外探测器。提出了具有一对热电偶的两层悬浮结构,其占空因子达到80%以上,并采用P/N多晶硅作为热电偶材料,黑硅作为吸收层材料。给出了器件的工作原理,对性能优化与制作的工艺流程进行了分析,结合所选材料的基本参数,得到了优化后的结构尺寸。通过理论计算,可以获得响应率大于1000 V/W,探测率大于1×108cmHz1/2W-1,时间常数小于40ms,噪声等效温差小于30mK的性能优良的热电堆红外探测器。该器件的吸收层位于结构中的顶层,金属布线位于底层,便于与后续电路集成。单元大小为25 m×25 m,有利于制作非制冷红外焦平面阵列。
- 赵利俊欧文闫建华明安杰袁烽夏燕
- 关键词：热电堆红外MEMS
