闫建华
- 作品数：8 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 微透镜阵列及其制作方法
- 本发明实施例公开了一种微透镜阵列及其制作方法，所述制作方法包括：提供基底；在基底内形成阵列浅槽；在基底上旋涂光刻胶，所述光刻胶覆盖基底表面及基底内的阵列浅槽；通过光刻、刻蚀工艺使所述阵列浅槽内的光刻胶达到预设高度；通过热...
- 闫建华欧文欧毅
- 文献传递
- 一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器被引量：3
- 2012年
- 报道了一种与CMOS工艺兼容的微机械热电堆红外探测器。提出了具有一对热电偶的两层悬浮结构,其占空因子达到80%以上,并采用P/N多晶硅作为热电偶材料,黑硅作为吸收层材料。给出了器件的工作原理,对性能优化与制作的工艺流程进行了分析,结合所选材料的基本参数,得到了优化后的结构尺寸。通过理论计算,可以获得响应率大于1000 V/W,探测率大于1×108cmHz1/2W-1,时间常数小于40ms,噪声等效温差小于30mK的性能优良的热电堆红外探测器。该器件的吸收层位于结构中的顶层,金属布线位于底层,便于与后续电路集成。单元大小为25 m×25 m,有利于制作非制冷红外焦平面阵列。
- 赵利俊欧文闫建华明安杰袁烽夏燕
- 关键词：热电堆红外MEMS
- 微透镜阵列及其制作方法
- 本发明实施例公开了一种微透镜阵列及其制作方法，所述制作方法包括：提供基底；在基底内形成阵列浅槽；在基底上旋涂光刻胶，所述光刻胶覆盖基底表面及基底内的阵列浅槽；通过光刻、刻蚀工艺使所述阵列浅槽内的光刻胶达到预设高度；通过热...
- 闫建华欧文欧毅
- 文献传递
- 一种红外焦平面阵列及其制作方法
- 本发明提供一种红外焦平面阵列，包括多个红外探测单元，所述红外探测单元包括衬底、光敏元件和聚能微透镜，所述光敏元件悬空于衬底上，光敏元件的光敏吸收层覆盖在光敏元件的电路层上，所述的聚能微透镜悬空于光敏元件的光敏吸收层上方，...
- 闫建华欧文欧毅
- 文献传递
- 一种双面微透镜阵列及其制造方法
- 本发明公开了一种双面微透镜阵列及其制造方法，其中，所述双面微透镜阵列，包括：双面微透镜组成的阵列，其中，阵列中每个双面微透镜包括上层微凸透镜和下层微凸透镜；每个双面微透镜中上层微凸透镜和下层微凸透镜为中心一一对应排列形式...
- 闫建华欧文欧毅
- 文献传递
- 一种红外焦平面阵列及其制作方法
- 本发明提供一种红外焦平面阵列，包括多个红外探测单元，所述红外探测单元包括衬底、光敏元件和聚能微透镜，所述光敏元件悬空于衬底上，光敏元件的光敏吸收层覆盖在光敏元件的电路层上，所述的聚能微透镜悬空于光敏元件的光敏吸收层上方，...
- 闫建华欧文欧毅
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- 一种双面微透镜阵列及其制造方法
- 本发明公开了一种双面微透镜阵列及其制造方法，其中，所述双面微透镜阵列，包括：双面微透镜组成的阵列，其中，阵列中每个双面微透镜包括上层微凸透镜和下层微凸透镜；每个双面微透镜中上层微凸透镜和下层微凸透镜为中心一一对应排列形式...
- 闫建华欧文欧毅
- 文献传递
- 基于红外焦平面阵列的聚能微镜阵列及其制作方法
- 本发明提供一种基于红外焦平面阵列的聚能微镜阵列，包括位于基底的多个聚能微镜单元，所述的聚能微镜单元包括通孔、微透镜，所述通孔的上端口不小于下端口，上端口与下端口之间为通孔的侧壁；所述微透镜覆盖在所述通孔的上端口；其中至少...
- 闫建华朱慧珑欧文
- 文献传递
