欧毅
- 作品数：139 被引量：100H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- 用于提高非制冷红外焦平面阵列器件性能的制作方法
- 一种用于提高非制冷红外焦平面阵列器件性能的制作方法，步骤如下：在双抛光<100>硅基片双表面淀积上氮化硅薄膜和下氮化硅薄；在下氮化硅薄膜上光刻、刻蚀，形成背面阵列腐蚀窗口图形；府蚀减薄硅基片，形成倒梯形缺口；...
- 石莎莉陈大鹏李超波焦斌斌欧毅叶甜春
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- 一种抗水流冲击的体硅腐蚀配套设备
- 本发明涉及一种抗水流冲击的体硅腐蚀配套设备，尤指一种对MEMS体硅腐蚀设备——恒温腐蚀设备和恒温加超声腐蚀设备的缺陷加以改进的体硅腐蚀配套设备。本发明中，被固定的腐蚀槽的底部设有与具有开关的导流管的一端连通的开口，导流管...
- 石莎莉陈大鹏景玉鹏欧毅叶甜春
- 文献传递
- 基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展被引量：2
- 2007年
- 在分析原子力显微镜工作原理的基础上,详细介绍了各种基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件的应用进展,并展望了悬臂梁微尖端器件的发展前景。
- 傅剑宇陈大鹏焦斌斌欧毅景玉鹏董立军叶甜春
- 关键词：原子力显微镜悬臂梁
- 基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关被引量：3
- 2007年
- RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构,能够解决静电RFMEMS现有的缺陷。
- 刘茂哲景玉鹏李全宝焦斌斌黄钦文李超波欧毅陈大鹏叶甜春
- 关键词：射频微机械开关静电驱动
- LCoS反射层的实验研究被引量：8
- 2005年
- LCoS技术是硅基CMOS半导体集成电路技术和液晶显示技术相结合的新技术。铝膜作为LCoS的反射电极,要求有较高的反射率和电导率。采用电子束蒸发的方法,以高纯度的Al为靶材,硅片为衬底,制备了不同厚度的Al反射膜,并测量了在可见光范围内反射率曲线,分析了薄膜的致密性和电导率。实验结果表明,当Al层很薄时,膜的连续性较差,呈岛状或网状结构,膜的导电性不好;如果沉积较厚(1μm以上)则容易形成“铝丘”,即出现多晶态的A1分布,一方面使A1膜表面粗糙,降低其镜面反射率,同样也将严重影响Al膜的电学性能。选定50nm厚度Al膜作为LCoS的反射层为最佳。
- 欧毅宋玉龙刘明凌志华
- 关键词：LCOS电子束蒸发反射率电导率
- 电磁驱动RFMEMS开关的研究状况被引量：2
- 2007年
- RFMEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RFMEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RFMEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在恶劣的环境等优点,使其成为近年来RFMEMS开关研究的一个热点。
- 李全宝景玉鹏刘茂哲陈大鹏欧毅马瑾叶甜春
- 关键词：MEMS技术MEMS开关电磁驱动工作电压驱动力
- MEMS技术在流体控制中的应用被引量：1
- 2007年
- 微机电系统(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)技术或微传感器与微执行器(MicromachinedTranducers)技术,它是在微电子技术的基础上发展起来的,融合了硅微加工和精密机械加工等多种微加工技术,并利用IC技术把控制和信号处理电路与机械部件集成的微型系统。这种技术所涉及的器件的特征尺寸一般小于1mm而大于1μm,它为流体控制研究开辟了一个崭新的领域。简述了流体控制技术的基本原理以及应用MEMS技术实现流体控制的机理和途径,分别介绍了国外研究机构近年来在微传感、微执行技术的研究工作。
- 易亮欧毅陈大鹏叶甜春
- 关键词：流体控制微执行器MEMS
- MEMS器件的腐蚀与释放
- 2006年
- 以硅微机械FP腔器件为代表,该器件采用了标准的硅表面加工工艺,分析了此类具有悬空结构的MEMS器件在进行牺牲层的腐蚀和最终的结构释放过程中的各种问题.根据所遇到问题的不同情况对器件的设计和工艺流程进行了改进,并通过实验验证了其可行性.
- 欧毅石莎莉李超波焦斌斌陈大鹏
- 关键词：MEMS牺牲层
- 一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法
- 一种硅基有机发光微显示(OLED)金属阳极及阴极隔离柱的制备方法，属于微电子器件制备技术领域，其工艺步骤如下：1.在硅基片表面上光刻出金属阳极图形；2.在光刻出图形的硅片表面用电子束蒸发出铬/银薄膜；3.超声剥离；4.反...
- 欧毅李大勇
- 文献传递
- 基于衬底硅作固支的微机械悬臂梁阵列的制作方法
- 本发明公开了一种基于衬底硅作固支的微机械悬臂梁阵列的制作方法，该方法包括：在<100>硅衬底上双面淀积SiN<Sub>x</Sub>薄膜；表面光刻，刻蚀SiN<Sub>x</Sub>薄膜，形成腐蚀窗口，去胶；...
- 石莎莉陈大鹏景玉鹏欧毅叶甜春
- 文献传递
