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潘峰

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划福建省自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

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厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
研究主题：微机电系统 MEMS 磁控溅射 射频MEMS开关 钙钛矿
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院萨本栋微机电研究中心
研究主题：微机电系统 MEMS 射频MEMS开关 牺牲层 氮化硅薄膜
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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