2024年12月24日
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刘训春
作品数:
105
被引量:94
H指数:6
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
中国科学院知识创新工程
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相关领域:
电子电信
自然科学总论
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合作作者
王润梅
中国科学院微电子研究所
张海英
中国科学院微电子研究所
石瑞英
四川大学物理科学与技术学院物理...
刘亮
中国科学院微电子研究所
罗明雄
中国科学院微电子研究所
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供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
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条 记 录,以下是 1-3
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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相关人物
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所获资助
研究领域
中国科学院
研究主题:催化剂 土壤 英文 青藏高原 遥感
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相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
中国科学院微电子中心
研究主题:集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
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