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夏洋

作品数：77 被引量：193H指数：6
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

共 7 条 记 录，以下是 1-7
中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
北京科技大学
研究主题：数值模拟 力学性能 高炉 数学模型 性能研究
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
浙江大学电气工程学院
研究主题：电力系统 电力市场 配电网 控制策略 永磁同步电机
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
北京科技大学材料科学与工程学院材料物理与化学系
研究主题：氢 应力腐蚀 磁控溅射 不锈钢 氢致开裂
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
嘉兴科民电子设备技术有限公司
研究主题：原子层沉积 太阳能电池 ALD 等离子体增强 腔体
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
研究主题：化学吸附 原子层沉积 晶圆 等离子体 氮化碳薄膜
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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