2024年12月23日
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周萌
作品数:
6
被引量:32
H指数:3
供职机构:
河北工业大学信息工程学院
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发文基金:
石家庄市科技局“科技支撑计划项目”
河北省科技支撑计划项目
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相关领域:
自动化与计算机技术
天文地球
农业科学
电子电信
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合作作者
徐晓辉
河北工业大学信息工程学院
贾薇
河北工业大学信息工程学院
苏彦莽
河北工业大学信息工程学院
宋涛
河北工业大学信息工程学院
曹美
河北工业大学信息工程学院
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研究领域
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河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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