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万永中
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上海交通大学
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合作作者
王季陶
复旦大学信息科学与工程学院电子...
张卫
复旦大学信息科学与工程学院电子...
刘志杰
复旦大学信息科学与工程学院电子...
沈荷生
上海交通大学材料科学与工程学院...
张志明
上海交通大学材料科学与工程学院...
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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王季陶
供职机构:复旦大学
研究主题:金刚石 相图 化学气相淀积 低压 热力学
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刘志杰
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题:金刚石 相图 金刚石薄膜 热力学 非平衡定态
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张志明
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 金刚石涂层 CVD 刀具
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沈荷生
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 CVD SNO 附着力
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何贤昶
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 CVD 金刚石涂层 分子动力学
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张剑云
供职机构:复旦大学
研究主题:化学气相淀积 金刚石 相图 热力学 金刚石薄膜
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戴永兵
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石 合金 分子动力学 金刚石薄膜 精铝
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莘海维
供职机构:上海交通大学微电子学院微电子技术研究所
研究主题:金刚石 金刚石薄膜 ALN薄膜 纳米金刚石薄膜 纳米金刚石
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杨小倩
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 CVD 金刚石 CVD金刚石薄膜 电学性能
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