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6 条 记 录,以下是 1-6
丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙亮
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院微电子学系
研究主题:SIOC 密度泛函理论 低介电常数介质 互连线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛原
供职机构:复旦大学
研究主题:SIOC 原子层淀积 高K栅介质 密度函数理论 密度泛函理论
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙清清
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢红亮
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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