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赵章琰
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H指数:6
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
李勇滔
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
秦威
昆明理工大学信息工程与自动化学...
李英杰
中国科学院微电子研究所
王燕
中国科学院微电子研究所
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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李英杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:射频电源 射频 功率放大电路 功率检测器 供电线路
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秦威
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:射频电源 阻抗匹配网络 功率放大电路 射频 供电线路
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石莎莉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 控制部件 氮化硅薄膜 牺牲层 刻蚀
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王燕
供职机构:清华大学
研究主题:注射针头 经皮给药 微针 控制部件 注射器
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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陈香
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:表面肌电信号 表面肌电 肌电信号 肌电 肌电控制
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杨基海
供职机构:中国科学技术大学信息科学技术学院电子科学与技术系
研究主题:表面肌电信号 表面肌电 运动单位动作电位 信号分解 肌电信号
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王蒙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:控制系统 电源系统 离子注入机 注入机 离子反应
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