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沈嘉英
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复旦大学
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一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
王文襄
复旦大学
沈绍群
复旦大学
杨恒
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周玉美
复旦大学
陈蓓蓓
复旦大学
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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王文襄
供职机构:复旦大学
研究主题:压力传感器 硅芯片 光刻 各向异性腐蚀 记号
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沈绍群
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院
研究主题:硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
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杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
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周玉美
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 掩模 微压传感器
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窦凤春
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 掩模 微压传感器
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陈蓓蓓
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 掩模 微压传感器
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季红
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 掩模 微压传感器
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鲍敏杭
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
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