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董琳
作品数:
5
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供职机构:
复旦大学
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合作作者
张卫
复旦大学信息科学与工程学院微电...
丁士进
复旦大学信息科学与工程学院微电...
薛原
复旦大学信息科学与工程学院微电...
徐赛生
复旦大学信息科学与工程学院微电...
施煜
复旦大学
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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孙清清
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
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施煜
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 高K栅介质 密度泛函理论 砷化镓 C-V特性
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薛原
供职机构:复旦大学
研究主题:SIOC 原子层淀积 高K栅介质 密度函数理论 密度泛函理论
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刘晗
供职机构:复旦大学
研究主题:纳米线 原子层淀积 存储器 MOS晶体管 半导体纳米线
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徐赛生
供职机构:复旦大学
研究主题:增强型 铜互连 脉冲电镀 势垒层 阴极
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