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徐文祥

作品数：27 被引量：18H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>

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领域

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地区

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共 32 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢薇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
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马平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡淘
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 投影光刻机 步进 掩模板 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗正全
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 光刻机 扫描仪 电子束曝光机 DSP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈磊
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光学元件 掩模 莫尔条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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