2024年12月24日
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李金龙
作品数:
34
被引量:14
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家科技重大专项
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电子电信
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
赵立新
中国科学院光电技术研究所
李兰兰
中国科学院研究生院
盛壮
中国科学院研究生院
徐锋
中国科学院研究生院
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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李兰兰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 图像探测器 投影物镜 条纹
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盛壮
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 图像探测器 条纹 工件台 投影光刻机
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徐锋
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
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谢飞
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:图像探测器 条纹 SIMULINK 衍射 分光镜
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周绍林
供职机构:华南理工大学
研究主题:纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
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陈旺富
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 条纹 图像探测器 双光栅 成像系统
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罗正全
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 电子束曝光机 DSP
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徐峰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:衍射 掩模 反馈控制 硅片 光刻胶
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