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金春水
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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合作作者
王丽萍
中国科学院长春光学精密机械与物...
周烽
中国科学院长春光学精密机械与物...
马冬梅
中国科学院长春光学精密机械与物...
王辉
中国科学院长春光学精密机械与物...
张海涛
中国科学院长春光学精密机械与物...
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王丽萍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
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周烽
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
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马冬梅
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 面形误差 面形检测 点衍射干涉仪 面形
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王辉
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
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张海涛
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 点衍射干涉仪 光学元件 面形误差 面形检测
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邓文渊
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 激光 多层膜 元件
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郭本银
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 沥青 六自由度 组件
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靳京城
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 极紫外 激光 元件
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刘钰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形检测 表面等离子体共振 面形误差 表面等离子体 非球面
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谢耀
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 极紫外光刻 极紫外 掩模
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