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李宝霞
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94
被引量:46
H指数:4
供职机构:
西安微电子技术研究所
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合作作者
万里兮
中国科学院微电子研究所
杨成樾
中国科学院微电子研究所
吕垚
中国科学院微电子研究所
潘鹏辉
西安微电子技术研究所
唐磊
西安微电子技术研究所
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万里兮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:系统级封装 电容器 电容 信号完整性 封装结构
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杨成樾
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 肖特基二极管 微波等离子体 肖特基接触
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吕垚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电容器 沟道 结电容 ICP刻蚀 硅刻蚀
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潘鹏辉
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:硅 芯片 微系统 测试夹具 基板
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唐磊
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:微系统 裸芯片 星载 KGD 基板
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李志华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:探测器 介质层 电极 波导 暗电流
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申华军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 刻蚀 欧姆接触 INGAP/GAAS_HBT 肖特基二极管
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杨宇军
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:TSV 微系统 芯片 硅基板 多芯片
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张宁
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:晶圆 划片 堆叠 芯片 氧化硅
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刘丰满
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:封装结构 光子芯片 封装 信号完整性 硅
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