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陈闽捷
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
华南理工大学机械与汽车工程学院机械电子工程系
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发文基金:
广东省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
交通运输工程
理学
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合作作者
张昊
信息产业部电子第五研究所
陈蒲生
华南理工大学理学院应用物理系
刘小阳
华南理工大学机械与汽车工程学院...
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信息产业部电...
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张昊
供职机构:信息产业部电子第五研究所
研究主题:XN 介质膜 俄歇电子能谱 PECVD法 电学性能
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研究领域
陈蒲生
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 热氮化 PECVD法
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相关人物
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刘小阳
供职机构:华南理工大学机械与汽车工程学院机械电子工程系
研究主题:XN PECVD法 SIO 介质膜 俄歇电子能谱
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