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李兵

作品数:41 被引量:40H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胥兴才
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 LPCVD 掩模 氮化硅 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘训春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶体管 HBT 电子束曝光 显影 GAAS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩敬东
供职机构:中国科学院
研究主题:X射线光刻 LPCVD 氮化硅 掩模 氮化硅膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周宗义
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底温度 反应离子刻蚀 硅片 辉光放电 辉光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王佳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微电子技术 微电子 启辉 真空室 衬底温度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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