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严伟

作品数：147 被引量：121H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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地区

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胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
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赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李凡星
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：成像 测量方法 干涉条纹 工件台 调制度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳丽
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 工件台 叠栅条纹 调焦 放大系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢薇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨帆
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量方法 微透镜阵列 传感器 成像 光栅尺
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周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
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王建
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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