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李媛媛
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1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
沈阳广播电视大学
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合作作者
孙军
沈阳建筑工程学院交通与机械工程...
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孙军
供职机构:沈阳建筑工程学院交通与机械工程学院
研究主题:抛光 单晶硅片 晶片 平面度 超精密加工
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