2024年12月25日
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胡淘
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12
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H指数:1
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
理学
机械工程
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
邢薇
中国科学院光电技术研究所
徐文祥
中国科学院光电技术研究所
陈磊
中国科学院光电技术研究所
赵立新
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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徐文祥
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 投影光刻机 掩模 光束 动镜
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邢薇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
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陈磊
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光学元件 掩模 莫尔条纹
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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马平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
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刘俊伯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
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唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
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邓钦元
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
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冯金花
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:工件台 叠栅条纹 掩模 光刻机 投影光刻机
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