2025年1月25日
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倪志萍
作品数:
2
被引量:10
H指数:1
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
丁桂甫
上海交通大学微纳米科学技术研究...
毛海平
上海交通大学微纳科学技术研究院
张永华
上海交通大学微纳科学技术研究院
王志明
上海交通大学微纳科学技术研究院
姜政
上海交通大学微纳科学技术研究院
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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姜政
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 双稳态 光刻胶 微机电系统 微加工
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赵小林
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
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陈文元
供职机构:上海交通大学
研究主题:微陀螺 电极 陀螺 微机电技术 微机电系统技术
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姜勇
供职机构:上海交通大学
研究主题:一体化 子层 SU-8胶 结合力 微加工
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王志民
供职机构:上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题:MEMS 微电铸 电铸 MEMS微结构 电沉积层
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张永华
供职机构:华东师范大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 牺牲层 双稳态 光刻胶
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毛海平
供职机构:上海交通大学
研究主题:微电感 电感量 微结构 反应离子刻蚀 磁芯材料
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王志明
供职机构:上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题:MEMS 微继电器 双稳态 永磁 光刻胶
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