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韩敬东

作品数：14 被引量：21H指数：2
供职机构：中国科学院更多>>
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陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胥兴才
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 LPCVD 掩模 氮化硅 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 掩模 干法刻蚀 深亚微米 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董立军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：沟道 氮化硅薄膜 红外焦平面阵列 纳米孔 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵玲莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：LPCVD X射线光刻 氮化硅 氮化硅薄膜 可见光发射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵玲利
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 常压 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张菊芳
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 X射线光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵铃莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：LPCVD 氮化硅膜 氮化硅薄膜 氮化硅 复合膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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