2024年12月24日
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邵花
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23
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H指数:1
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中国科学院微电子研究所
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国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
王文东
中国科学院微电子研究所
李勇滔
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
刘邦武
中国科学院微电子研究所
韦亚一
中国科学院微电子研究所
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王文东
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 大气等离子喷涂
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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刘邦武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
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韦亚一
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
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罗军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
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李俊杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 沟道 纳米线 电子设备
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王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
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刘训春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶体管 HBT 电子束曝光 显影 GAAS
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