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杜宇禅

作品数：6 被引量：9H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 8个机械工程
  • 8个电子电信
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主题

  • 8个电子束光刻
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  • 6个等离子体共振
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  • 6个电磁
  • 6个电磁波
  • 6个电镀
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机构

  • 7个中国科学院微...
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  • 2个中国科学院微...
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资助

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  • 7个国家重点基础...
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传媒

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地区

  • 7个北京市
  • 1个吉林省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
李海亮
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李冬梅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史丽娜
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 光学制造 光学结构 X射线光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：深紫外 多层膜 光学薄膜 氟化物 激光损伤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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