2025年1月18日
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于江勇
作品数:
2
被引量:10
H指数:2
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
天津市自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
夏显召
河北工业大学信息工程学院微电子...
李英的
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
牛新环
河北工业大学信息工程学院微电子...
杨昊鹍
河北工业大学信息工程学院微电子...
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李英的
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 混合磨料 化学机械抛光 LED 蓝宝石衬底
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夏显召
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 混合磨料 LED 蓝宝石衬底
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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杨昊鹍
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 硅衬底 碱性条件
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孙鸣
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
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