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张玮
作品数:
1
被引量:10
H指数:1
供职机构:
上海大学环境与化学工程学院化学工程与工艺系
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发文基金:
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国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
曾磊
罗门哈斯电子材料有限公司
徐赛生
复旦大学微电子研究院
张立锋
复旦大学微电子研究院
张卫
复旦大学微电子研究院
汪礼康
复旦大学微电子研究院
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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汪礼康
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 脉冲电镀 集成电路 X射线衍射 电阻率
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张立锋
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:铜互连 脉冲电镀 集成电路 X射线衍射 电阻率
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
曾磊
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 脉冲电镀 铜互连线 集成电路 X射线衍射
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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徐赛生
供职机构:复旦大学
研究主题:增强型 铜互连 脉冲电镀 势垒层 阴极
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