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杜婧

作品数:36 被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
相关领域:电子电信机械工程轻工技术与工程理学更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 20个四川省
20 条 记 录,以下是 1-10
刘俊伯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯金花
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:工件台 叠栅条纹 掩模 光刻机 投影光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全海洋
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 波像差 光学元件 大口径 光电技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱咸昌
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 微透镜阵列 大视场 焦距 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周清华
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:三自由度 成像 差动 大行程 闭环
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何渝
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共2页<12>
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