高绪敏
- 作品数：61 被引量：20H指数：3
- 供职机构：南京邮电大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺理学机械工程更多>>
- 微机电可调氮化物谐振光栅制备方法
- 本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅制备方法，实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成；该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用薄膜沉积、电子束曝光、光刻、反应离子刻蚀、三五族刻蚀、深硅刻蚀等...
- 王永进施政高绪敏贺树敏李欣于庆龙
- 文献传递
- 基于光电子集成芯片的荧光成像装置及其制备方法
- 本发明涉及一种基于光电子集成芯片的荧光成像装置及其制备方法。所述基于光电子集成芯片的荧光成像装置包括：样品台；氮化镓光电子集成芯片，位于所述样品台上方，包括透明衬底、位于所述透明衬底朝向所述样品台一侧的透明LED器件、以...
- 蒋元王永进高绪敏石帆严嘉彬秦飞飞
- 微机电可调氮化物谐振光栅及其双面加工方法
- 本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅，实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成并提出了双面加工法制备微机电可调氮化物谐振光栅的方法；该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用薄膜沉积、电子束曝光...
- 王永进施政高绪敏贺树敏李欣于庆龙
- 文献传递
- 叉指型环形栅AlGaN/GaN HEMT结构的双面紫外光探测器
- 本发明公开了一种叉指型环形栅AlGaN/GaN HEMT结构的双面紫外光探测器，其结构从下往上依次包括：硅衬底层、AlGaN背势垒层、高阻GaN缓冲层、u‑GaN沟道层、AlGaN势垒层、GaN帽层；探测器在有源区侧壁采...
- 施政谢天龙高绪敏王永进
- 面向可见光通信的硅基氮化物同质光电子集成芯片研究
- 随着照明技术和无线通信技术的迅猛发展，可见光通信将是下一代光通信的主流方向，但是光通信器件自身的限制是制约其发展的一个重要问题。目前市场上常用的光通信器件为LED器件以及可见光探测器，并不能很好地适用于高速可见光通信系统...
- 高绪敏
- 关键词：可见光通信发光二极管光电探测器多量子阱光子集成电路
- 文献传递
- 面向可见光波段的非周期悬空GaN薄膜光栅被引量：6
- 2017年
- 基于严格耦合波理论,提出了一种在可见光波段能调控入射光相位的非周期悬空氮化镓(GaN)薄膜光栅。首先,采用有限差分时域(FDTD)方法,通过改变光栅的周期、占空比等参数仿真计算非周期悬空GaN薄膜光栅的光响应。然后,采用双面加工工艺和氮化物背后减薄技术在硅基GaN晶圆上制备非周期悬空GaN薄膜光栅,控制入射光束的相移。最后,通过角分辨微反射谱实验和光致发光测量实验表征了该薄膜光栅的光学性能。角分辨微反射谱实验结果显示非周期悬空GaN薄膜光栅的光学性能与FDTD的理论分析一致;光致发光测量实验显示其光致发光(PL)强度比硅衬底GaN光栅大大增强,峰值从364.3nm转移到378.7nm。另外,在可见光波段内,该悬空非周期GaN光栅有较大的入射角容忍度,为-25°~25°。得到的结果表明,研制的悬空非周期GaN光栅有助于提高光提取效率。
- 王永进张锋华高绪敏施政
- 关键词：光致发光谱
- 悬空p-n结量子阱基串联阵列能量系统及制备方法
- 本发明公开了一种悬空p‑n结量子阱基串联阵列能量系统及制备方法，该系统实现载体为硅基氮化物晶片，利用背后深硅刻蚀技术，剥离去除器件结构下的硅衬底层，获得悬空p‑n结量子阱器件；使用SiO<Sub>2</Sub>层做隔离层...
- 王永进吴凡高绪敏
- 文献传递
- 氧化镓/氮化镓异质结双紫外波段探测器及其制备方法
- 本发明公开了氧化镓/氮化镓异质结双紫外波段探测器及其制备方法，本发明属于第三代半导体紫外光电探测器技术领域。本发明的探测器包括硅衬底、氮化镓缓冲层、非掺杂氮化镓层以及p型氮化镓层；n型氧化镓层和p型金属电极层设置于p型氮...
- 施政高翔高绪敏
- 悬空氮化物薄膜LED器件及制备方法
- 本发明公开了一种悬空氮化物薄膜LED器件及其制备方法，实现载体为硅衬底氮化物晶片，包括顶层氮化物器件层和硅衬底层；该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离，消除硅衬底层对激发光的吸收，实现悬空氮化物薄膜LED器...
- 王永进白丹施政李欣高绪敏陈佳佳朱洪波
- 文献传递
- 多共振峰圆形光栅滤波器被引量：3
- 2017年
- 提出了一种导模共振圆形光栅滤波器,以实现它在可见光范围内的多波段滤波。理论分析了圆形光栅滤波器在同一入射波偏振条件下形成多个共振峰的原因。通过微纳加工技术在硅基二氧化铪材料上实现了光栅层约为70nm的圆形光栅薄膜结构。利用一维线性光栅对圆形光栅的反射谱进行了模拟,通过角分辨微纳反射谱测试系统获得了该光栅滤波器在不同入射波偏振条件以及不同入射角时的反射谱。实验表明,在特定的光栅周期以及占空比条件下(如光栅周期350nm,占空比0.5),当线性偏振光正入射时,该圆形光栅滤波器形成了两个共振峰(505nm处和575nm处),与模拟结果基本符合。另外,光栅占空比相同时,随着光栅周期的增加,共振峰会向较长的波段偏移。实验显示:通过设计不同结构的亚波长圆形光栅,可以实现可见光范围内多个特定波段的滤波作用。
- 王永进秦川高绪敏张锋华
- 关键词：衍射光栅亚波长结构微纳加工导模共振光栅滤波器
