贺树敏
- 作品数：22 被引量：2H指数：1
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- 微机电可调硅基三族氮化物光栅被引量：2
- 2014年
- 将静电梳齿微驱动器与三族氮化物光栅集成,获得了利用静电梳齿微驱动器调节光栅周期的硅基三族氮化物光栅。首先,以硅基三族氮化物基片为基础,设计了微机电可调光栅,光栅的设计周期为1.1μm,设计线宽为0.8μm。然后,利用严格耦合波分析法研究了横向磁场模式下可调光栅的光学响应特性;研究显示改变光栅周期和占空比,光栅的谐振波峰出现了明显偏移。最后,介绍了结合电子束光刻、三族氮化物干法刻蚀和深硅刻蚀技术制备微机电可调三族氮化物光栅的方法。严格耦合波分析和实验表明:制备的微机电可调三族氮化物光栅具有良好的质量;在静电驱动器上施加电压,可将光栅的谐振波峰由1.345μm调节至1.40μm,满足了利用微机电技术调节三族氮化物光栅光学响应特性的要求。
- 李欣施政贺树敏高绪敏张苗王永进
- 关键词：微机电系统
- 微机电可调氮化物谐振光栅制备方法
- 本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅制备方法，实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成；该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用薄膜沉积、电子束曝光、光刻、反应离子刻蚀、三五族刻蚀、深硅刻蚀等...
- 王永进施政高绪敏贺树敏李欣于庆龙
- 文献传递
- 微机电可调氮化物谐振光栅及其双面加工方法
- 本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅，实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成并提出了双面加工法制备微机电可调氮化物谐振光栅的方法；该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用薄膜沉积、电子束曝光...
- 王永进施政高绪敏贺树敏李欣于庆龙
- 文献传递
- 外延ZnMnO薄膜中Mn2+/3+d-d激发态的光致发光谱研究
- 研究了一系列高质量ZnMnO外延薄膜的磁性以及对应的Mn2+/3+的激发态的PL谱.如图1(b)所示,在温度为5K的时候,在非铁磁性的ZnMnO样品观察到位于3.323eV的发光峰I1,而在铁磁性的ZnMnO样品中观测到...
- 白洪亮贺树敏刘国磊曹强陈延学康仕寿颜世申梅良模
- 关键词：光致发光铁磁性导带配位体
- 微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法
- 本发明提供一种微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法，其实现载体为高阻硅衬底氮化物晶片，该晶片包括顶层氮化物器件层和硅衬底层；所述顶层氮化物器件层的上表面具有光波导器件和微纳驱动器件结构，结合背后对准和深硅刻蚀技术，去除...
- 王永进高绪敏于庆龙施政贺树敏李欣何颖洁李丽
- 文献传递
- 超薄氮化物微纳静电驱动器及其制备方法
- 本发明提供超薄氮化物微纳静电驱动器及其制备方法，该方法能够解决厚膜氮化物悬空器件的加工问题，获得厚度可控的超薄氮化物微纳静电驱动器。该氮化物微纳静电驱动器实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用电子束曝光技术定义微纳静电驱动器...
- 王永进于庆龙高绪敏施政贺树敏李欣丁礼伟刘芳
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- 一种高Q值微型圆形谐振腔器件及其制备方法
- 本发明公开一种高Q值微型圆形谐振腔器件，采用SOI晶片作为载体，所述SOI晶体从上到下依次为顶层硅器件层、氧化埋层和硅衬底层；所述顶层硅器件层刻蚀有一个C型谐振腔、2个光波导、2列入射光栅和一个光子晶体阵列，其中，一个光...
- 王永进施政于庆龙陈佳佳高绪敏贺树敏
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- 悬空氮化物薄膜LED器件及其制备方法
- 本发明提供一种悬空氮化物薄膜LED器件及其制备方法，实现载体为硅衬底氮化物晶片，包括顶层氮化物器件层和硅衬底层；该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离，消除硅衬底层对激发光的吸收，实现悬空氮化物薄膜LED器件...
- 王永进于庆龙高绪敏施政曲颖贺树敏李欣王镇海
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- 角分辨微纳光谱分析装置
- 本发明公开了一种角分辨微纳光谱分析装置，包括入射光路、反射光路和透射光路。入射光路为装置提供入射光；反射光路是由样品反射光形成的光路，用于测量样品角分辨反射傅里叶信息；透射光路是由样品透射光形成的光路，用于测量样品角分辨...
- 王永进方晓静贺树敏冯姣朱刚毅朱洪波
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- 微机电可调氮化物谐振光栅
- 本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅，实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成并提出了制备微机电可调氮化物谐振光栅的方法；该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用薄膜沉积、电子束曝光、光刻、反...
- 王永进施政高绪敏贺树敏李欣于庆龙
- 文献传递
