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于庆龙

作品数：20 被引量：4H指数：1
供职机构：南京邮电大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 13篇氮化
  • 13篇氮化物
  • 13篇化物
  • 12篇刻蚀
  • 12篇硅衬底
  • 12篇衬底
  • 9篇硅刻蚀
  • 8篇电子束曝光
  • 8篇刻蚀技术
  • 8篇反应离子
  • 6篇离子刻蚀
  • 6篇反应离子刻蚀
  • 4篇光栅
  • 3篇折射率
  • 3篇通信
  • 3篇高折射率
  • 3篇光波
  • 3篇光波导器件
  • 3篇波导
  • 3篇波导器件

机构

  • 20篇南京邮电大学
  • 1篇华为技术有限...

作者

  • 20篇于庆龙
  • 18篇王永进
  • 15篇高绪敏
  • 15篇贺树敏
  • 15篇施政
  • 12篇李欣
  • 4篇刘芳
  • 3篇李丽
  • 3篇陈佳佳
  • 3篇何颖洁
  • 2篇曲颖
  • 2篇王镇海
  • 1篇朱洪波
  • 1篇杨森
  • 1篇胡芳仁

传媒

  • 1篇科技促进发展

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 3篇2015
  • 6篇2014
  • 6篇2013
  • 2篇2012
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
超薄氮化物微纳静电驱动器及其制备方法
本发明提供超薄氮化物微纳静电驱动器及其制备方法，该方法能够解决厚膜氮化物悬空器件的加工问题，获得厚度可控的超薄氮化物微纳静电驱动器。该氮化物微纳静电驱动器实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用电子束曝光技术定义微纳静电驱动器...
王永进于庆龙高绪敏施政贺树敏李欣丁礼伟刘芳
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一种高Q值微型圆形谐振腔器件及其制备方法
本发明公开一种高Q值微型圆形谐振腔器件，采用SOI晶片作为载体，所述SOI晶体从上到下依次为顶层硅器件层、氧化埋层和硅衬底层；所述顶层硅器件层刻蚀有一个C型谐振腔、2个光波导、2列入射光栅和一个光子晶体阵列，其中，一个光...
王永进施政于庆龙陈佳佳高绪敏贺树敏
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悬空氮化物薄膜LED器件及其制备方法
本发明提供一种悬空氮化物薄膜LED器件及其制备方法，实现载体为硅衬底氮化物晶片，包括顶层氮化物器件层和硅衬底层；该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离，消除硅衬底层对激发光的吸收，实现悬空氮化物薄膜LED器件...
王永进于庆龙高绪敏施政曲颖贺树敏李欣王镇海
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微机电可调氮化物谐振光栅
本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅，实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成并提出了制备微机电可调氮化物谐振光栅的方法；该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用薄膜沉积、电子束曝光、光刻、反...
王永进施政高绪敏贺树敏李欣于庆龙
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基于USB接口的热插拔可见光无线接入系统
本实用新型公开了基于USB接口的热插拔可见光无线接入系统，包括第一USB接口、第一电平转换电路、发送端、接收端、第二电平转换电路、第二USB接口。电平转换电路包括接口电路和脉冲处理电路，发送端包括电压跟随器和LED器件，...
王永进丁礼伟刘芳何颖洁于庆龙李丽
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亚波长高对比度光栅结构设计及制作
由于传统的聚焦反射镜和透射镜为非球面形且厚度很大，同时难以与标准的微加工工艺兼容。虽然波片和菲涅尔透镜是平面镜且紧凑的元件，但是波片会吸收大部分的入射光，因此不能满足低损耗应用的需求，而同心的菲涅尔透镜在微区范围内难以制...
于庆龙
关键词：严格耦合波理论绝缘体上硅
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微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法
本发明提供一种微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法，其实现载体为高阻硅衬底氮化物晶片，该晶片包括顶层氮化物器件层和硅衬底层；所述顶层氮化物器件层的上表面具有光波导器件和微纳驱动器件结构，结合背后对准和深硅刻蚀技术，去除...
王永进高绪敏于庆龙施政贺树敏李欣何颖洁李丽
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基于硅衬底氮化物的悬空光波导器件及其制备方法
本发明公开了一种基于硅衬底氮化物的悬空光波导器件，实现载体为硅衬底氮化物晶片，所述硅衬底氮化物晶片包括顶层氮化物器件层和位于顶层氮化物器件层下部硅衬底层；所述硅衬底层的上表面具有一个凹槽；所述顶层氮化物器件层的上表面具有...
王永进于庆龙胡芳仁朱洪波
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微机电可调氮化物谐振光栅制备方法
本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅制备方法，实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成；该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用薄膜沉积、电子束曝光、光刻、反应离子刻蚀、三五族刻蚀、深硅刻蚀等...
王永进施政高绪敏贺树敏李欣于庆龙
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微机电可调氮化物谐振光栅及其双面加工方法
本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅，实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成并提出了双面加工法制备微机电可调氮化物谐振光栅的方法；该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用薄膜沉积、电子束曝光...
王永进施政高绪敏贺树敏李欣于庆龙
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