2024年12月25日
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张雷
作品数:
3
被引量:4
H指数:1
供职机构:
山东大学物理学院晶体材料国家重点实验室
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发文基金:
山东省科技发展计划项目
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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电子电信
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合作作者
邵永亮
山东大学物理学院晶体材料国家重...
郝霄鹏
山东大学物理学院晶体材料国家重...
吴拥中
山东大学物理学院晶体材料国家重...
蒋民华
山东大学物理学院晶体材料国家重...
张浩东
山东大学物理学院晶体材料国家重...
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气流分布
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氢化物气相外...
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吴拥中
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张雷
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蒋民华
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年份
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2018
1篇
2011
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物理气相传输法自发成核生长AlN单晶
王国栋
吴拥中
张雷
邵永亮
郝霄鹏
BCN纳米片阻断位错HVPE生长高质量GaN单晶
张保国
胡海啸
吴拥中
邵永亮
张雷
郝霄鹏
HVPE生长室气流分布模拟及GaCl载气流量对GaN单晶生长的影响
被引量:4
2011年
采用计算流体力学软件Fluent对HVPE反应室进行了数值模拟,研究了GaCl载气流量对HVPE反应室气流分布的影响,发现GaCl载气流量是影响GaCl和NH3在衬底上均匀分布的重要因素。采用HVPE方法在不同GaCl载气流量下生长GaN单晶,研究了GaCl载气流量对GaN单晶质量的影响,得到了与模拟一致的结果。
张雷
邵永亮
吴拥中
张浩东
郝霄鹏
蒋民华
关键词:
GAN
氢化物气相外延
气流分布
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