高安然
- 作品数：20 被引量：10H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信医药卫生一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 一种高深宽比硅结构的侧壁平滑方法
- 本发明提供一种高深宽比硅结构的侧壁平滑方法，先在硅衬底表面形成氧化硅掩膜，然后根据氧化硅掩膜于硅衬底中制作高深宽比硅结构，接着采用感应耦合等离子体增强化学气相沉积法或喷涂法于所述高深宽比硅结构侧壁形成含氟聚合物，最后去除...
- 李铁高安然俞正寅戈肖鸿王跃林
- 文献传递
- 一种传感器非敏感区域保护薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种传感器非敏感区域保护薄膜的制备方法，包括以下步骤，提供一设有硅纳米线的硅片；在所述硅片上依次生长具有第一厚度的第一Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>薄膜、SiO<Sub>2</Sub>...
- 戴鹏飞李铁高安然鲁娜王跃林
- 文献传递
- 基于工艺选择性的硅纳米线及其表面生物组装的可控批量制造技术及其在传感器的应用
- 2015年
- 针对硅纳米线及其在生物、医学、环境、反恐应用中生物检测的制造需求,通过充分利用硅材料本身的特性,发展传统光刻、腐蚀工艺中的硅纳米线精细控制技术,研究硅纳米线传感界面上有序组装多种生物功能探针(包括蛋白质探针和基因探针)的制造方法,提出一致性良好的硅纳米线的自上而下批量制造方法及其表面生物识别和捕获性能的精确控制制造技术,为高灵敏度、高选择性的硅纳米线生物传感器件的制造及批量化奠定坚实的技术基础,并为基于硅纳米线及相关生物组装的跨尺度制造提供可借鉴的新原理和新方法.
- 王跃林李铁高安然鲁娜
- 关键词：硅纳米线生物传感器
- 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究被引量：1
- 2010年
- 设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.
- 高安然李铁刘翔焦继伟王跃林
- 关键词：温度梯度
- 基于硅纳米线隧穿场效应晶体管的生物传感器及制作方法
- 本发明提供一种基于硅纳米线隧穿场效应晶体管的生物传感器及制作方法，包括制作具有三角形截面的硅纳米线沟道的硅纳米线隧穿场效应晶体管的步骤、于所述硅纳米线沟道表面进行试剂修饰形成活性薄膜以及于所述活性薄膜表面形成捕获探针的步...
- 高安然李铁戴鹏飞鲁娜王跃林
- 文献传递
- 一种精确定位制备氧化硅纳米岛阵列的方法
- 本发明涉及一种精确定位制备氧化硅纳米岛阵列的方法，其特征在于所述的方法是利用牺牲层腐蚀技术，使用接触式曝光光刻和湿法腐蚀工艺，即通过三次光刻工艺和进行三次BOE腐蚀工艺制备。本发明在传统“自上而下”方法的基础上，结合独特...
- 戴鹏飞李铁高安然鲁娜王跃林
- 文献传递
- 一种采用混合等离子体实现硅基芯片与PDMS芯片键合的方法
- 本发明提供一种采用混合等离子体实现硅基芯片与PDMS芯片键合的方法，首先提供一硅基芯片与一PDMS芯片，采用丙酮和酒精对所述硅基芯片及所述PDMS芯片进行超声清洗，然后采用氧气及第二气体的混合等离子体对所述硅基芯片的键合...
- 李铁高安然戴鹏飞鲁娜萨姆·海米拉帕西·盖里奥王跃林
- 文献传递
- 基于负电容的场效应晶体管、生物传感器及其制备方法
- 本发明提供一种基于负电容的场效应晶体管、生物传感器及制备方法，场效应晶体管的制备包括：提供半导体衬底，包括底层硅、埋氧层以及顶层硅；定义出沟道图形及连接于两端的源区图形和漏区图形；向所述源区图形及所述漏区图形对应的位置进...
- 高安然韩清华赵兰天赵清太李铁王跃林
- 文献传递
- 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
- 设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,...
- 高安然李铁刘翔焦继伟王跃林
- 关键词：温度梯度
- 一种硅纳米线隧穿场效应晶体管及其制作方法
- 本发明提供一种硅纳米线隧穿场效应晶体管及其制作方法，包括步骤：1）提供一SOI衬底，包括底层硅、埋氧层及顶层硅；2）减薄所述顶硅层并于表面形成二氧化硅层；3）采用光刻工艺及湿法腐蚀工艺形成硅纳米线沟道、源区及漏区；4）于...
- 高安然李铁戴鹏飞鲁娜王跃林
- 文献传递
