戴鹏飞
- 作品数：13 被引量：8H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：医药卫生电子电信更多>>
- 一种精确定位制备氧化硅纳米岛阵列的方法
- 本发明涉及一种精确定位制备氧化硅纳米岛阵列的方法，其特征在于所述的方法是利用牺牲层腐蚀技术，使用接触式曝光光刻和湿法腐蚀工艺，即通过三次光刻工艺和进行三次BOE腐蚀工艺制备。本发明在传统“自上而下”方法的基础上，结合独特...
- 戴鹏飞李铁高安然鲁娜王跃林
- 文献传递
- 一种硅纳米线隧穿场效应晶体管及其制作方法
- 本发明提供一种硅纳米线隧穿场效应晶体管及其制作方法，包括步骤：1）提供一SOI衬底，包括底层硅、埋氧层及顶层硅；2）减薄所述顶硅层并于表面形成二氧化硅层；3）采用光刻工艺及湿法腐蚀工艺形成硅纳米线沟道、源区及漏区；4）于...
- 高安然李铁戴鹏飞鲁娜王跃林
- 文献传递
- 硅纳米线场效应晶体管生物传感器在肿瘤分子诊断中的应用被引量：8
- 2016年
- 肿瘤的早期诊断是目前临床医学最具挑战性的问题之一.分子诊断不仅能对肿瘤早期做出确切的诊断,而且能对肿瘤分期、分型、疗效监测和预后评估做出判断.硅纳米线作为新型一维半导体纳米材料,具有超高灵敏度、专一选择性、无标记检测、快速实时响应等独特优势,在近年来的生物医学检测应用,特别是肿瘤的分子诊断方面引起了极大的关注.基于此,本文介绍了硅纳米线场效应晶体管(FET)的工作原理、硅纳米线的制备方法、传感灵敏度的影响因素,综述了硅纳米线FET生物传感器在肿瘤分子诊断中的应用(包括核酸的定性与定量检测、肿瘤蛋白标志物检测、以及分子间相互作用研究),并展望了硅纳米线生物传感器的未来发展趋势,希望能为硅纳米线在肿瘤早期诊断的进一步应用提供一定的参考.
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- 关键词：硅纳米线生物传感器场效应晶体管分子诊断肿瘤
- 基于硅纳米线隧穿场效应晶体管的生物传感器及制作方法
- 本发明提供一种基于硅纳米线隧穿场效应晶体管的生物传感器及制作方法，包括制作具有三角形截面的硅纳米线沟道的硅纳米线隧穿场效应晶体管的步骤、于所述硅纳米线沟道表面进行试剂修饰形成活性薄膜以及于所述活性薄膜表面形成捕获探针的步...
- 高安然李铁戴鹏飞鲁娜王跃林
- 文献传递
- 一种具有密贴悬空栅极的硅纳米线场效应管的制备方法
- 本发明提供一种具有密贴悬空栅极的硅纳米线场效应管的制备方法，包括步骤：通过至上而下的工艺在（111）型硅片上制备出特定尺寸的硅纳米线,保留氮化硅掩膜层，并以此为绝缘层在其上制作栅极，同时在硅纳米线两端的体硅上通过离子注入...
- 杨勋李铁张啸戴鹏飞王跃林
- 文献传递
- 一种采用混合等离子体实现硅基芯片与PDMS芯片键合的方法
- 本发明提供一种采用混合等离子体实现硅基芯片与PDMS芯片键合的方法，首先提供一硅基芯片与一PDMS芯片，采用丙酮和酒精对所述硅基芯片及所述PDMS芯片进行超声清洗，然后采用氧气及第二气体的混合等离子体对所述硅基芯片的键合...
- 李铁高安然戴鹏飞鲁娜萨姆·海米拉帕西·盖里奥王跃林
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- 一种传感器非敏感区域保护薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种传感器非敏感区域保护薄膜的制备方法，包括以下步骤，提供一设有硅纳米线的硅片；在所述硅片上依次生长具有第一厚度的第一Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>薄膜、SiO<Sub>2</Sub>...
- 戴鹏飞李铁高安然鲁娜王跃林
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- 基于硅纳米线隧穿场效应晶体管的生物传感器及制作方法
- 本发明提供一种基于硅纳米线隧穿场效应晶体管的生物传感器及制作方法，包括制作具有三角形截面的硅纳米线沟道的硅纳米线隧穿场效应晶体管的步骤、于所述硅纳米线沟道表面进行试剂修饰形成活性薄膜以及于所述活性薄膜表面形成捕获探针的步...
- 高安然李铁戴鹏飞鲁娜王跃林
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- 一种具有密贴悬空栅极的硅纳米线场效应管的制备方法
- 本发明提供一种具有密贴悬空栅极的硅纳米线场效应管的制备方法，包括步骤：通过至上而下的工艺在（111）型硅片上制备出特定尺寸的硅纳米线,保留氮化硅掩膜层，并以此为绝缘层在其上制作栅极，同时在硅纳米线两端的体硅上通过离子注入...
- 杨勋李铁张啸戴鹏飞王跃林
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- 一种精确定位制备氧化硅纳米岛阵列的方法
- 本发明涉及一种精确定位制备氧化硅纳米岛阵列的方法，其特征在于所述的方法是利用牺牲层腐蚀技术，使用接触式曝光光刻和湿法腐蚀工艺，即通过三次光刻工艺和进行三次BOE腐蚀工艺制备。本发明在传统“自上而下”方法的基础上，结合独特...
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