陈雪萌
- 作品数：8 被引量：27H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术机械工程理学更多>>
- 微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法
- 2005年
- 编号：0506226 该发明专利是一种微梁直拉直压结构的压阻微机械陀螺及制作方法。
- 李昕欣陈雪萌宋朝辉王跃林
- 关键词：微机械陀螺制作方法压阻
- 微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法
- 李昕欣陈雪萌宋朝辉王跃林
- 本发明涉及一种微梁直拉直压结构的压阻微机械陀螺及制作方法，其特征在于将加速度计作为陀螺的科里奥利加速度检测部分，把两个加速度计放在扭转驱动结构两侧，形成类似音叉原理的微机械陀螺；使用压阻四端器件，检测、控制陀螺的驱动幅度...
- 关键词：
- 关键词：微机械陀螺加速度计
- 微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法
- 本发明涉及一种微梁直拉直压结构的压阻微机械陀螺及制作方法，其特征在于将加速度计作为陀螺的科里奥利加速度检测部分，把两个加速度计放在扭转驱动结构两侧，形成类似音叉原理的微机械陀螺；使用压阻四端器件，检测、控制陀螺的驱动幅度...
- 李昕欣陈雪萌宋朝辉王跃林
- 文献传递
- 一种新结构硅微机械压阻加速度计被引量：13
- 2005年
- 设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计。器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形。比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍。加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。
- 陈雪萌李昕欣宋朝晖王跃林黄晖黄树森张鲲
- 关键词：微机械加速度计压阻深反应离子刻蚀
- 一种压阻式微机械陀螺的研究
- 微机械陀螺是一种测量角速度或角位移的惯性传感器，具有体积小，可靠性高，价格便宜的优点，在汽车，电子和惯性导航领域有很大的潜力。微机械陀螺常见的检测方式有电容式和压阻式。与电容式陀螺相比，虽然压阻式陀螺的结构和接口电路比较...
- 陈雪萌
- 关键词：微机械陀螺温度补偿惯性传感器微电子学固体电子学
- 文献传递
- 一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造被引量：5
- 2004年
- 设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺。陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测。主梁、微梁 质量块结构实现了高灵敏度。比较硬的主梁提供了一定的机械强度,并且提供了高共振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻应变计就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5V条件下,陀螺检测部分的理论灵敏度达到27.45mV/gn。压阻式四端器件用来监测驱动振幅,可以反馈补偿压阻的温度系数。检测模态的Q值达260使陀螺能在大气下工作。陀螺利用普通的n型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。
- 陈雪萌宋朝晖李欣昕王跃林张鲲焦继伟杨恒
- 关键词：陀螺压阻深反应离子刻蚀
- 微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法
- 本发明涉及一种微梁直拉直压结构的压阻微机械陀螺及制作方法，其特征在于将加速度计作为陀螺的科里奥利加速度检测部分，把两个加速度计放在扭转驱动结构两侧，形成类似音叉原理的微机械陀螺；使用压阻四端器件，检测、控制陀螺的驱动幅度...
- 李昕欣陈雪萌宋朝辉王跃林
- 文献传递
- 压阻式微机械陀螺接口电路的数学原理被引量：2
- 2005年
- 压阻式微机械陀螺是MEMS研究的重要方向之一,有效的接口电路是发挥陀螺性能的重要保证。用数学方法完整地推导了陀螺驱动和信号检测的内在机理,并据此设计了一种简单的压阻式陀螺接口电路。接口电路的最小分辨力为0.33°/s。测量结果证明了数学推导的正确性。
- 陈雪萌李昕欣王跃林焦继伟杨恒刘民
- 关键词：微机械陀螺压阻接口电路
