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张永红

作品数：31 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文基金：江苏省科技计划项目江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇文化科学
  • 2篇理学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇尾气
  • 5篇均匀性
  • 5篇互联系统
  • 4篇气相沉积
  • 4篇进气
  • 4篇孔径
  • 4篇孔径大小
  • 4篇化学气相
  • 4篇化学气相沉积
  • 4篇复数
  • 3篇导流
  • 3篇淀积
  • 3篇真空管道
  • 3篇真空获得
  • 3篇图形发生器
  • 3篇气相淀积
  • 3篇墙结构
  • 3篇外管
  • 3篇尾气处理
  • 3篇进气管

机构

  • 31篇中国科学院
  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 31篇张永红
  • 16篇朱建军
  • 14篇张宝顺
  • 12篇王国斌
  • 9篇邱凯
  • 6篇杨辉
  • 6篇李智
  • 5篇王怀兵
  • 4篇刘德利
  • 4篇王荣新
  • 3篇王逸群
  • 3篇王玮
  • 3篇方运
  • 2篇徐科
  • 2篇赵德胜
  • 2篇熊康林
  • 2篇王劼
  • 2篇黄宏娟
  • 1篇陆书龙
  • 1篇张书明

传媒

  • 1篇真空
  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇材料工程
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 4篇2013
  • 4篇2012
  • 6篇2011
  • 4篇2010
共 31 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
非晶AlBN介质薄膜的制备及相关特性研究
2020年
采用脉冲激光沉积(PLD)技术在GaN(002)上沉积非晶AlBN介质薄膜.利用X射线衍射技术(XRD)、透射电子显微镜(T EM)和X射线光电子能谱(XPS)等技术分别对介质薄膜的晶体结构、成分进行表征,并采用导电原子力显微镜(CAFM)以及I-V等测试手段对不同厚度薄膜的电学性质进行测试.结果表明:不同厚度的AlBN介质薄膜均为非晶,薄膜中B含量约为6.7%(原子分数).厚度为3 nm和18 nm的AlBN介质薄膜的表面粗糙度(Rq)分别为0.209 nm和0.116 nm,薄膜表面平整均匀,18 nm薄膜施加±10 V电压时,没有出现明显的漏电流.但在金属-介质-金属(M IM)结构中,18 nm薄膜结构中出现较大漏电流,漏电流密度在-2 V时约为-2×10^-4 A/cm^2.
刘峰峰李玉雄隋展鹏蔡勇张永红蒋春萍
关键词：脉冲激光沉积非晶薄膜
用于超高真空系统的样品拾放装置
本发明公开了一种用于超高真空系统的样品直接拾放装置，包括：共圆周设置的复数卡盘片；以及，螺旋伸缩机构，用以在驱动机构的驱动下驱使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。其中所述螺旋伸缩机构包括：一字槽限位盘，包含复数一字限...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
文献传递
MOCVD生长GaN薄膜的仿真
根据现行氮化镓金属有机物化学气相沉积的生长动力学理论，结合商用垂直喷淋式反应器，运用计算流体力学方法，耦合化学反应动力学和输运过程，对GaN MOCVD生长过程进行全面的仿真。计算得到了相关场、反应产物以及生长速率、寄生...
王国斌张永红邱凯王怀兵张宝顺杨辉
关键词：GAN生长MOCVD生长速率计算机仿真
应用于超高真空环境的样品传输系统及方法
本发明公开了一种应用于超高真空环境的样品传输系统及方法。该传输系统包括分布于真空互联系统内对样品小车有转向要求的选定位置处的换向中转室，所述换向中转室内部设有用于承载样品小车的可旋转轨道，并且所述可旋转轨道可在驱动机构驱...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
文献传递
用于均匀出气的气体分配器
本发明涉及一种用于均匀出气的气体分配器，其一般设置在化学气相淀积设备上的进气段，用来为反应室提供均匀一致的进气。该气体分配器包括相互连通的至少一路进气管和二个以上密闭气体分配腔，所述进气管和气体分配腔沿气流运行方向依次固...
王国斌邱凯朱建军张永红
文献传递
用于化学气相沉积设备中的气体墙结构
本发明涉及一种用于化学气相沉积设备中的气体墙结构，包括设置于外管内腔中的内管，内、外管之间留有均匀间隙，该间隙与设置在外管上的进气口连通，内管上沿轴向分布多个连通内管内腔和上述均匀间隙的气隙结构，其中每一气隙结构包括沿周...
王国斌朱建军邱凯张永红
一种MOCVD石墨盘清洁装置
本发明公开了一种MOCVD石墨盘清洁装置，其包括：气路控制器，真空反应室，加热单元，压力控制器，泵，尾气处理装置；带腐蚀性的气体与载气进入所述气路控制器中，该气路控制器将其按比率混合后通入所述的真空反应室内，所述的加热单...
刘建平张永红王峰王怀兵朱建军张书明杨辉
文献传递
一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法
本发明公开了一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法。该真空互联系统包括材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台，其中，所述互联平台包括管道设备、中续设备、传输设备、真空获得设备、输入输出设备和控制设备；所述材...
杨辉徐科张宝顺丁孙安张永红
文献传递
用于化学气相沉积设备中的气体墙结构
本实用新型涉及一种用于化学气相沉积设备中的气体墙结构，包括设置于外管内腔中的内管，内、外管之间留有均匀间隙，该间隙与设置在外管上的进气口连通，内管上沿轴向分布多个连通内管内腔和上述均匀间隙的气隙结构，其中每一气隙结构包括...
王国斌朱建军邱凯张永红
文献传递
用于超高真空系统的样品拾放装置
本发明公开了一种用于超高真空系统的样品直接拾放装置，包括：共圆周设置的复数卡盘片；以及，螺旋伸缩机构，用以在驱动机构的驱动下驱使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。其中所述螺旋伸缩机构包括：一字槽限位盘，包含复数一字限...
刘德利张宝顺张永红王荣新李智
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