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李海清
李海清
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
河北工业大学电子信息工程学院
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发文基金:
天津市自然科学基金
河北省自然科学基金
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
马欣
河北工业大学电子信息工程学院
刘俊杰
河北工业大学电子信息工程学院
王如
河北工业大学电子信息工程学院
牛新环
河北工业大学电子信息工程学院
刘玉岭
河北工业大学电子信息工程学院
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李海清
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刘俊杰
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马欣
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年份
1篇
2017
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用于TSV硅衬底的碱性抛光液研究
被引量:1
2017年
在穿透硅通孔(TSV)工艺中,研究了碱性抛光液组分的组合方式和抛光液的稀释倍数对硅衬底去除速率的影响。分析了硅衬底的去除机理;研究了抛光液对Si/Cu去除速率的选择性;研究了抛光液的存储时间不同时pH值和硅衬底去除速率的变化。该抛光液通过在硅溶胶中依次加入表面活性剂、无机碱、有机胺碱,再用去离子水稀释15倍配制而成,并应用于TSV图形片。实验结果表明:该抛光液对硅衬底的去除速率较高,达到1.045μm/min;采用该抛光液对TSV图形片抛光120s后,铜柱露出2μm;抛光液储存时间30天后,硅衬底去除速率仅损失1.3%。该碱性抛光液满足半导体制造行业要求。
刘俊杰
李海清
马欣
刘玉岭
牛新环
王如
关键词:
化学机械抛光
抛光液
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