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朱效立

作品数：155 被引量：124H指数：6
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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合作作者

领域

  • 29个电子电信
  • 22个机械工程
  • 20个理学
  • 16个自动化与计算...
  • 15个一般工业技术
  • 13个电气工程
  • 11个化学工程
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  • 8个医药卫生
  • 8个农业科学
  • 8个自然科学总论
  • 7个矿业工程

主题

  • 22个光刻
  • 18个电子束光刻
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  • 18个光学
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  • 16个等离子体
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  • 15个X射线
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机构

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作者

  • 30个朱效立
  • 23个谢常青
  • 16个陈宝钦
  • 16个刘明
  • 14个曹磊峰
  • 13个马杰
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传媒

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国家重点基础研究发展计划(2007CB935302)
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国家科技重大专项(2008ZX02051-005)
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国家高技术研究发展计划(2006AA843134)
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国家自然科学基金(60676008)
相关领域：电子电信 理学 机械工程 自动化与计算机技术 电气工程
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