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刘鑫

作品数：4 被引量：17H指数：2
供职机构：黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室更多>>
发文基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目教育部科学技术研究重点项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术化学工程电子电信更多>>

合作作者

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黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室
研究主题：MEMS 左手材料 射频磁控溅射 氧传感器 硅
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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