2024年12月23日
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王鑫华
作品数:
125
被引量:10
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
香港特区政府研究资助局资助项目
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
医药卫生
理学
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合作作者
刘新宇
杭州士兰微电子股份有限公司
黄森
中国科学院微电子研究所
魏珂
中国科学院微电子研究所
郑英奎
中国科学院微电子研究所
赵妙
中国科学院微电子研究所
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相关作者
所获基金
研究领域
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1
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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