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龚义元

作品数：7 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子中心
研究主题：集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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