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席仕伟

作品数：25 被引量：40H指数：4
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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施志贵
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 微电子机械系统 刻蚀 MEMS 掩膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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姚明秋
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
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高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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王旭光
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：悬臂梁 极板 键合 超快激光 加速度传感器
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张茜梅
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王亚军
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：折叠波导 折叠波导行波管 太赫兹 行波管 折叠波导慢波结构
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刘娟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：掩模 高速通信 光刻技术 光刻系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭刚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程永生
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 仿真 极板 锚点 微加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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